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晶圆缺陷检测机

尺寸：

根据需求定制

主要特点及优势：

● 可兼容多种不同规格产品
● 功能可扩展性，可根据客户需求增减功能
● 检测效率高，可对标进口高端设备
● 智能检测与缺陷分类识别，进一步降低人工复检工作量
● 为客户建立缺陷数据库，实现对工艺的智能管控